新風機組（MAU）加循環機組（RAU）加風機過濾單元（FFU）空氣處理方案如圖1。
圖 1 新風機組（MAU）加循環機組（RAU）加風機過濾器單元（FFC）空氣處理方案示意圖
此方案多用于不同溫、濕度和潔凈度要求的潔凈室，各室內的溫濕度負荷不同對送風狀態點的要求也不同。為了保證各個潔凈室的溫度、濕度和潔凈度，為了滿足不同的基數和精度要求，就要求將循環空調機組分開設置，根據不同的要求，分別處理各自的熱濕負荷。同時因為潔凈度的不同、送風量不同，FFU的數量也不同。循環空調機組的風量是根據室內熱濕負荷經計算確定的，一般情況循環空調機組和新風空調機組都設置在空調機房內，新風空調機組可將室外空氣處理到室內熱濕比線的機器露點，和室內回風混合再由循環空調機組（RAU）處理到送風狀態點，這樣循環空調機組（RAU）只要作降溫處理，不需要再作降濕處理。若新風空調機組（MAU）將空氣處理到室內狀態點的等焓線上，再與室內回風（部分）混合，再由循環空調機組（RAU）將混合點的空氣狀點經降焓降濕處理到送風狀態點，然后送入回風靜壓箱內經風機過濾單元（FFU）送入潔凈室內，這樣循環風機的風量略大。這兩種處理方式應根據具體情況來定。
圖2是該方案的空氣處理流程。
圖 2 新風機組（MAU）加循環機組（RAU）加風機過濾器單元（FFC）空氣處理焓濕圖(I-D)
上述空氣處理方案是在潔凈空調設計中經常使用的方案之一，在設計過程中，對室內負荷的計算要準確，否則在實際運行時室內的溫濕度的要求和精度的要求難以滿足，熱濕比的計算（ε線）決定了空氣處理過程的走向，潔凈空調系統的風量計算與一般空調風量計算有所不同，前面已經陳述過了，關鍵是送風狀態點的確定必須經過計算，然后在空氣焓濕圖（I－d圖）上確定。另外對空調箱中的表冷器、加熱器、加濕器必須要進行校核計算，保證其參數滿足設計要求，尤其是對新風空調箱的表冷器大焓差、大濕差的處理，校核計算更重要。另外要注意的是計算時使用的空氣焓濕圖（I－d圖）必須是工程所在地的空氣焓濕圖（I－d圖），因為各地區的大氣壓不同，空氣的參數也是不同的。
