潔凈室氣體管道系統吹除和供給裝置要求如下：

一、潔凈室氣體管道系統吹除要求

1. 氣體管道各項試驗合格后，應使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內污物，吹除氣流流速應大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為合格。

2. 管道吹除合格后，應再以實際輸送的氣體，在工作壓力下，對管道系統進行吹除，應無常聲音和振動為合格。輸送可燃氣體的管道在啟用之前，應用惰性氣體將管內原有氣體置換。

二、潔凈室氣體供給裝置要求

1. 瓶裝氣體供給裝置應安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應加套管，并應在管道與套管間隙填滿不燃材

料并加密封。

2. 裝置出口管道上的安全閥在安裝前應進行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應符合安全閥性能要求。

3. 集中式真空吸引裝置應安裝在遠離潔凈室的建筑物外，安裝時應采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應小于5倍管外徑，過濾清除設施應安在排氣口。