一、自動控制要求

      1 潔凈廠房宜設置凈化空調系統等的自動監控裝置。

      2 潔凈室凈化空調系統宜選用變頻調速控制的風機。

      3 凈化空調系統的電加熱器應設置無風、超溫斷電保護裝置。當采用電加濕器時，應設置無水保護裝置。

二、靜電防護及接地

      1 潔凈廠房應根據工藝生產要求采取靜電防護措施。

      2 潔凈室（區）內的防靜電地面，其性能應符合下列規定：

      （1）地面的面層應具有導電性能，并應保持長時間性能穩定。

      （2）地面的面層應采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應為1.0×10⁵Ω/□?1.0×10¹²Ω/□或體積電阻率為1.0×10⁴Ω?cm~1.0×10¹¹Ω?cm。

      （3）地面應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻值應為1.0×10⁵Ω?1.0×10⁹Ω。

      3 潔凈室的凈化空調系統應采取防靜電接地措施。

      4 潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。

      5 防靜電接地系統應分別按不同要求設置接地連接端子。 在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環。

在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0. 10。

      6 潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則，其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。

      7 接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時，各種功能接地系統的接地體必須遠離防雷接地系統的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》 GB 50057的有關規定。