1 潔凈室（區）工業管道的敷設應符合下列規定：

      （1）潔凈室（區）內工業管道不應穿越無關的房間。

      （2）干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。

      （3）易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。

      （4）當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。

2 潔凈室（區）工業管道的設計應符合現行國家標準《工業金屬管道設計規范》GB 50316的有關規定。

3 工業管道設計應符合下列規定：

      （1）應按輸送介質的物化性質，合理確定管內物料流速和管徑。

      （2）在滿足生產工藝的條件下,管道系統應盡量短。

      （3）應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。

      （4）管道系統應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。

4 工業管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。

5 可燃氣體管道、氧氣管道的末端或最高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1皿,并應有防雨、防雜物侵入的措施。

6 氣體凈化裝置的選擇和配置應符合氣源和生產工藝對氣體純度的要求。氣體終端凈化裝置宜設在鄰近用氣點處。

7 氣體過濾器的選擇和配置應符合生產工藝對氣體潔凈度的要求。高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。

8 潔凈廠房內、生產類別為現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016規定的甲、乙類氣體、液體入口室或分配室的設置應 符合下列規定：

      （1）當毗連布置時，應設在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處，并應與相鄰房間采用耐火極限大于3.0h的隔墻分隔。

      （2）應有良好的通風。

      （3）泄壓設施和電氣防爆應按現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016、《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定執行。