電子工業(yè)潔凈廠房氣體供應(yīng)設(shè)計(jì)一般規(guī)定如下：

1. 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類(lèi)型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。

2. 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

3. 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016、《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50177和《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50030等的有關(guān)規(guī)定。

4. 潔凈廠房?jī)?nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時(shí)，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。

5. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

6. 可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類(lèi)氣體的房間；當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。

7. 高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

      （2）不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間，

      （3）管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

8. 潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施：

      （1）可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門(mén)時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門(mén)箱，閥門(mén)箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；

      （2）接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施；

      （3）引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施，

      （4）應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

9. 氣體過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置。終端氣體過(guò)濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點(diǎn)處。