警告——GB/T 25915的本部分的應(yīng)用可能涉及有害材料、作業(yè)和設(shè)備。GB/T 25915的本部分未提及與應(yīng)用有關(guān)的所有安全性問題。使用前,GB/T 25915本部分的用戶有責(zé)任制定適當(dāng)?shù)陌踩托l(wèi)生 措施，并遵守各種強(qiáng)制性規(guī)定。

1 范圍

      GB/T 25915的本部分規(guī)定了潔凈室和潔凈區(qū)空氣懸浮粒子潔凈度等級的檢測方法，以及潔凈室和潔凈區(qū)性能的檢測方法。性能檢測針對是空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)3種可能的占用狀態(tài)下的單向流和非單 向流型式潔凈室和潔凈區(qū)。本文件推薦了測定性能參數(shù)用檢測儀器和檢測規(guī)程。.某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區(qū)的類型，為此，本文件推薦了若干替代方法。為了滿足不同用戶的要求,對于某些檢測項目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若需方與供方協(xié)商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測量結(jié)果。

      本部分不適用于測量潔凈室或隔離裝置內(nèi)的產(chǎn)品或工藝。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

      GB/T 25915.1-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分:空氣潔凈度等級(ISO 14644-1/999, IDT)

      GB/T 25915.2-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分:證明持續(xù)符合GB/T 25915.1的檢測 與監(jiān)測技術(shù)要求(ISO 14644-2：2000, IDT)

      GB/T 25915.4—2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第4部分:設(shè)計、建造、啟動(ISO 14644-4：2001 IDT)

      ISO 7726:1998 熱環(huán)境人體功效學(xué)物理量測量儀器

3 術(shù)語和定義

      下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1 一般術(shù)語

3.1.1

      潔凈室 cleanroom

      空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式使房間內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子最少，房間內(nèi)溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。

      [GB/T 25915.1—2010,2.1.1]

3.1.2

      潔凈區(qū) clean zone

      空氣懸浮粒子濃度受控的專用空間，其建造和使用方式使區(qū)內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子最少，區(qū)內(nèi)溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。

      注：潔凈區(qū)可以是開放的或封閉的;在也可不在潔凈室內(nèi)。

      [GB/T 25915.1—2010,2.1.2]

3.1.3

      設(shè)施 installation

      連同所有建筑結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)以及服務(wù)、公用系統(tǒng)的潔凈室，或一個或數(shù)個這樣的潔凈區(qū)。

      注：改寫 GB/T 25915.1—2010,定義 2.1.3。

3.1.4

      隔離裝置 separative device

      采用構(gòu)造和動力學(xué)方法在確定的容積內(nèi)外創(chuàng)建可靠隔離水平的設(shè)備。

      注：某些行業(yè)專用隔離裝置有：潔凈風(fēng)罩、隔離箱 ,手套箱、隔離器、微環(huán)境。

3.2 空氣懸浮粒子測

3.2.1

      氣溶膠發(fā)生器 aerosol generator

      能以加熱、液壓、氣動、超聲波、靜電等方式生成濃度恒定、粒徑范圍適當(dāng)?shù)模ɡ?.05 μm?2 μm） 微粒物質(zhì)的器具。

3.2.2

      空氣懸浮粒子 airborne particle

      懸浮在空氣中、活或非活、固體或液體、粒徑（對GB/T 25915的本部分而言）1 nm?100 μm的粒子。

      注：用于潔凈度等級的，參見GB/T 25915.1—2010,2.2.1。

3.2.3

      數(shù)量中值粒徑 count median particle diameter

      CMD

      按粒徑排列粒子時，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。

      注：占一半數(shù)量的粒子其粒徑小于數(shù)量中值粒徑，占另一半數(shù)量的粒子其粒徑大于該數(shù)量中值粒徑。

3.2.4

      大粒子 macroparticle

      當(dāng)量直徑大于5 μm的粒子。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.6]

3.2.5

      M 描述符 M descriptor

      每立方米空氣中大粒子的實(shí)測或規(guī)定濃度。M描述符中的當(dāng)量粒徑與測量方法有關(guān)。

      注：M描述符可作為采樣點(diǎn)平均濃度上限（或置信上限，該值隨潔凈室或潔凈區(qū)性能測定采樣點(diǎn)數(shù)量而定）。不能 用M描述符規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但可將其單獨(dú)或隨潔凈度等級引述。

      [GB/T 25915.1—2010,2.3.2]

3.2.6

      質(zhì)量中值粒徑 mass median particle diameter

      MMD

      按質(zhì)量排列粒子時，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。

      注：占全部粒子質(zhì)量一半的粒子其粒徑小于質(zhì)量中值粒徑，占另一半質(zhì)量的粒子其粒徑大于該中值粒徑。

3.2.7

      粒子濃度 particle concentration

     單位體積空氣中粒子的個數(shù)。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.3]

3.2.8

      粒徑 particle size

      給定的粒徑測量儀器所顯示的、與被測粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。

      注：離散粒子計數(shù)器給出的是當(dāng)量光學(xué)粒徑。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.2]

3.2.9

      粒徑分布 particle size distribution

      粒子按粒徑累計得出的濃度。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.4]

3.2.10

      測試氣溶膠 test aerosol

      具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和（或）液體粒子的氣態(tài)懸浮物。

3.2.11

      U 描述符 U descriptor

      包括超微粒子在內(nèi)的、每立方米空氣粒子的實(shí)測或規(guī)定濃度。

      注：U描述符可作為采樣點(diǎn)平均濃度上限（或置信上限，該值隨潔凈室或潔凈區(qū)性能測定采樣點(diǎn)數(shù)量而定）。不能 用U描述符確定空氣潔凈度等級，但可將其單獨(dú)或隨潔凈度等級引述。

      [GB/T 25915.1—2010,2.3,1]

3.3.12

      超微粒子 ultrafine particle

      當(dāng)量直徑小于0.1 μm的粒子。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.5]

3.3 空氣過濾器和過濾系統(tǒng)

3.4.1

      氣溶膠發(fā)塵 aerosol challenge

      對過濾器和已裝過濾系統(tǒng)施用檢測氣溶膠的過程。

3.3.2

      滲漏限值 designated leak

      需方與供方商定的、可用離散粒子計數(shù)器或氣溶膠光度計掃描測出的設(shè)施滲漏最大允許透過率。

3.3.3

      稀釋裝置 dilution system

      按已知容積比將氣溶膠與無粒子稀釋空氣混合，以降低氣溶膠濃度的裝置。

3.3.4

      過濾系統(tǒng) filter system

      由過濾器、安裝架及其他支撐裝置或箱體組成的系統(tǒng)。

3.3.5

      末端過濾器 final filter

      空氣進(jìn)入潔凈室之前最末端位置上的過濾器。

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