1 總 則
1.0.1 為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求,制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)。
1.0.3 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。
1.0.4 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測和安全運(yùn)行、維護(hù)管理創(chuàng)造必要的條件。
1.0.5 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
2 術(shù) 語
2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。可以是開放式或封閉式。
2.0.3 人員凈化用室 room for cleaning human body
人員在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.4 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.5 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。
2.0.6 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。
2.0.7 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.8 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.9 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運(yùn)行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
2.0.10 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無生產(chǎn)人員。
2.0.11 動態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。
2.0.12 氣流流型 air pattern
室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布。
2.0.13 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。
2.0.14 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。
2.0.15 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.16 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1. 5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。
2.0.17 空氣吹淋室 airshower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。
2.0.18 氣閘室 airlock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.19 傳遞窗 passbox
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。
2.0.20 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.21 高效空氣過濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99.95％以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器。
2.0.22 超高效空氣過濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99.9995％以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。
2.0.23 微環(huán)境 minienvironment
將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。
2.0.24 風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組 fan filter unit(FFU)
由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起，構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。
2.0.25 自凈時間 cleanliness recovery characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級的時間。
2.0.26 技術(shù)夾層 technical mezzanine
潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。
2.0.27 技術(shù)夾道 technical tunnel
潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。
2.0.28 技術(shù)豎井 technical shaft
潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。
2.0.29 專用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.30 純水 pure water
雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。
2.0.31 常用氣體 bulk gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤狻⒑獾葰怏w。
2.0.32 特種氣體 special gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。
2.0.33 化學(xué)品 chemical
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸、堿、有機(jī)溶劑和氧化物等。
2.0.34 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.35 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求
3.1 一般規(guī)定
3.1.1 電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、 壓差、噪聲、振動、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。
3.1.2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。
3.1.3 潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。
3.1.4 潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等性能測試和認(rèn)證應(yīng)符合本規(guī)范附錄D的要求。
3.2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求
3.2.1 潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
潔凈室（區(qū)）設(shè)計(jì)時，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)）應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.2.2 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工 藝要求確定;無要求時，可按本規(guī)范附錄A確定。
3.2.3 潔凈室（區(qū)）的溫度和相對濕度應(yīng)按表3.2.3確定。
3.2.4 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì)、氣體及化學(xué)品的純度和雜質(zhì)含量等應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。
3.2.5 單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于 65dB（A ）,非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB （A ）。
3.2.6 潔凈室（區(qū)）的微振動控制設(shè)計(jì)應(yīng)滿足精密設(shè)備、儀器的振動容許值要求。無要求時，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。
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