1 范圍

      本標準提出了潔凈室及相關受控環(huán)境的空氣化學污染控制的檢測、控制等指南。

      本標準適用于微電子、光電子工廠以及特殊需求的生產(chǎn)、研究等潔凈室及相關受控環(huán)境的空氣化學污染控制。

      本標準不適用于核能和軍事應用。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

      GB/T 25915.8—2010 潔凈室及相關受控環(huán)境 第8部分：空氣分子污染分級(ISO 14644-8：2006, IDT)

3 術語和定義

      下列術語和定義適用于本文件。

3.1

      空氣分子污染 airbme molecular contamination； AMC

      以氣態(tài)或蒸汽態(tài)存在于潔凈室及相關受控環(huán)境中，可危害產(chǎn)品、工藝、設備的分子(化學的、非顆粒) 物質。不包含生物大分子。

      注：空氣分子污染即空氣化學污染。

3.2

      環(huán)境反應監(jiān)測法 environmental response monitoring methods ； ERMs

      綜合監(jiān)濯腐蝕性氣體對芯片的腐蝕程度的方法。

      注：將環(huán)境反應采樣片(ERCs)放在各個待測區(qū)域，如新風機組的進出口，循環(huán)風機組進出U等，時間是以30天為一個周期，觀察采樣片厚度的變化，以A(Angstrom)為單位。

3.3

      污染物 contaminant

      能對流體的預期使用產(chǎn)生負面影響的物質(固體、液體和氣體)。

3.4

      氣相空氣凈化裝置 gas phase air cleaner device；GPACD

      能去除特定的氣體和蒸汽等氣相污染物的組裝設備。

      注：在本標準中即化學過濾器，化學過濾器屬于氣相空氣凈化裝置的一種。

3.5

      空氣化學污染 air chemical contamination

      氣相的非顆粒物質，其化學性質對產(chǎn)品、生產(chǎn)工藝或設備產(chǎn)生不利的影響。

4 污染源、分級與分類

4.1 污染源

4.1.1 室外環(huán)境的空氣污染物:SO,、VOCs、O八NH八HzS'HQ等。

4.1.2 作業(yè)人員攜帶:汗水（NH3）、K離子、PVC手套、香水、發(fā)膠等。

4.1.3 制程逸散:制程化學原料——光刻膠、清洗劑、顯影劑、去光阻劑、特氣泄漏等。

4.1.4 潔凈室用材“釋氣”和設備泄漏:涂料、各類密封膠、期料材質、機臺維修等。

4.2 分級與分類

4.2.1 一般的分級見 GB/T 25915.8—2010 中表 1。

4.2.2 微電子和光電子領域的分類與分級參見附錄A。

5 檢測

5.1 單項污染物檢測參見附錄B中

5.2 環(huán)境反應監(jiān)測法（ERMs）參見B.3。

      注：5.2是采取較長時間的取樣方法，通過檢測判定分子污染統(tǒng)合影響.

6 空氣化學污染控制

6.1 確定是否污染及情況

      定性確定是否有空氣化學污染。如有，需分析測定污染物的類型和濃度范圍。

6.2 控制措施

6.2.1 采用化學過濾器并根據(jù)污染物和控制目標，對空氣化學過濾器的過濾介質（如活性炭、改性活性炭等）的有效性、裝填密度,過濾器的設計、加工的優(yōu)劣（防止溝流）等進行分析并選擇。

      注：化學過濾器的性能及檢測參見GB/T 36370-2018。

6.2.2 實時監(jiān)測化學過濾器的出風口，如遇出風口氣流中污染物濃度超出規(guī)定的標準則應立即更換。

      注：空氣化學過濾器使用壽命通常為一年，該指標是在標潴指定試臉條件下測定的結果，與實際使用條件有偏差, 只能作為參考。

6.2.3 控制化學分子污染設施系統(tǒng)參見附錄C。

6.2.4 微電子工業(yè)潔凈室空氣化學污染控制參見附錄D。

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